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LPCVD 臥式爐管設(shè)備


所屬分類:

第三代半導(dǎo)體工藝設(shè)備


概要:

LPCVD設(shè)備是半導(dǎo)體集成電路制造的重要設(shè)備之一,主要用于Poly, D/P Poly, SiN,SiO2薄膜的生長。


關(guān)鍵詞:

LPCVD (立式/臥式)



LPCVD 臥式爐管設(shè)備


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SiC高溫氧化設(shè)備

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